SULabs, Selçuk Üniversitesi Rektörlüğü ürünü olan bir laboratuvar yönetim sistemidir.
İletişim Selçuk Üniversitesi +90(332)223 0702 sulabs@selcuk.edu.tr selcukiltek@selcuk.edu.tr
İnce filmlerin kalınlık ölçümleri, Metal yüzeyler, photoresist ve transparan film kalınlıkları, yarı iletken sistemler (solar cell, leds), MEMs uygulamaları, mikrolens, işlenmiş yüzeylerde pürüzsüzlük değerlendirmesi amacıyla kullanılmaktadır.
PRM 01 Film kalınlığı 2D Ölçüm
PRM 02 Haraitalama ve Yüzey Pürüzlülüğü (3D Ölçüm)
2,5 µm hassasiyetindeki prob ile yüzey üzerinde tarama yapılarak 2D ve 3D topografik verilerin hızlı bir şekilde alındığı sistemlerdir. 500 µm - 150 mm tarama aralığına sahiptir. Kalın ve ince film yüzeyleri ( pürüzlülük, dalgalanmalar, yüzey hataları) hakkında bilgi vermenin yanı sıra adım yüksekliği ve adım aralığını yüksek çözünürlükte ölçebilmektedir.
Birim (Laboratuvar)
Alt Birim
Laboratuvar
Cihaz