SULabs, Selçuk Üniversitesi Rektörlüğü ürünü olan bir laboratuvar yönetim sistemidir.
İletişim Selçuk Üniversitesi +90(332)223 0702 sulabs@selcuk.edu.tr selcukiltek@selcuk.edu.tr
Yarı iletken, güneş enerjisi, optoelektronik ve mikroelektronik endüstrilerinde ince film kaplamaların uygulanması için kullanılır.
CVD 01 Düşük Basınç CVD Tekniği ile Kaplama
CVD 02 Plazma Destekli CVD Tekniği ile Kaplama
- 100°C ila 500°C arasındaki sıcaklıklarda gerçekleştirilir,
- RF (Radyo Frekansı), Mikrodalga ve DC (Doğru Akım) plazma kaynakları.
Birim (Laboratuvar)
Alt Birim
Laboratuvar
Cihaz