Plazma Artırımlı Kimyasal Buhar Biriktirme (PECVD) - Cihaz Detayı

Plazma Artırımlı Kimyasal Buhar Biriktirme (PECVD)

İLTEK Yüzey Hazırlama Plazmatek

Aktif Cihaz Dış Kullanıma Açık Araştırmaya Kapalı Analize Kapalı

Temel Alanlar

Fen Bilimleri ve Matematik

Mühendislik Temel Alanı

Anahtar Kelimeler

Henüz anahtar kelime bilgisi eklenmemiş

Kullanım Amacı

- Fonksiyonel yüzey kaplamaları Toz, tohum, perlit vb. yapıların homojen kaplanması…..

Yapılan Analizler

D-PECVD 01 Azot ve Argon Ortamında Kaplama
D-PECVD 02 Diğer Ortamlarda Kaplama

Teknik Özellikler

- 10-3 militorr vakum seviyesi
- Vakum altında dönme hareketi sayesinde toz numuneleri homojen kaplama
- 13.56 Mhz RF plazma kaynağı ve eşleştiricisi
- MKS Baratron vakum ölçer
- Borosilikat reaktör haznesi

Laboratuvarlar

Biyoteknoloji 50 Cihaz
Diğer Analitik Cihazlar 1 Cihaz
Elektro Kimyasal 1 Cihaz
Görüntüleme 8 Cihaz
Kimyasal Analiz 4 Cihaz
Kromatografi 22 Cihaz
Lazer Sistemleri 4 Cihaz
Ön Hazırlık Cihazları 13 Cihaz
Sıvı Azot 1 Cihaz
Spektroskopi 7 Cihaz
Tanecik Karakterize 5 Cihaz
Temiz Oda 15 Cihaz
Termal Analiz 5 Cihaz
X-Işınları Analizi 1 Cihaz
Yüzey Hazırlama 4 Cihaz
Yüzey Karakterize 3 Cihaz

52

Birim (Laboratuvar)

123

Alt Birim

150

Laboratuvar

3901

Cihaz